1.서 론
2004년 일본의 H. Hosono 연구팀이 비정질 산화물 반 도체(a-AOS) 인 In-Ga-Zn-O (IGZO)를 개발 및 발표한 이래로, 디스플레이 산업은 빠르게 발전되어 왔다.1-3) IGZO는 기존 평판 디스플레이 내 박막 트랜지스터(thinfilm transistors; TFTs)용 반도체 재료인 비정질 실리콘 에 비해 높은 전계 효과 이동도 (> 10 cm2/Vs), 매우 낮 은 누설 전류 (< 10−12 A), 대면적 균일성 등의 우수한 특성을 가지고 있으며, 이를 통해 고성능의 능동 행렬 유기 발광 다이오드(active matrix organic light-emitting diode; AM-OLED) 기반 디스플레이 등의 구현에 성공 적으로 적용 및 상용화되었다.4-6)
이러한 IGZO를 이용한 차세대 디스플레이로써, 유연 기판 위 IGZO TFT 제조를 통한 플렉서블 및 웨어러블 디스플레이의 구현이 각광받고 있으나, 이를 위해서는 저 온 열처리 기술이 반드시 요구된다. IGZO 반도체는 상 온에서 sputtering을 통해 쉽게 증착이 가능하지만, 우수 한 TFT 스위칭 성능을 얻기 위하여 300 °C 이상의 고 온 열처리가 반드시 필요하다.7-9) IGZO의 경우 그 전기 적 특성을 재료 내 산소 공공과 같은 결함 농도를 통 해 제어하게 되는데, 이를 고온 열처리를 통해 제어하 는 방법이 일반적이다. 현재 유연 기판으로 이용하는 재 료는 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate, PEN), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET) 등이 있으며 대부분 300 °C 이하의 매우 낮은 유 리전이온도를 가지고 있다.10-12) 따라서 기존의 고온 열 처리 공정을 이용하는 경우 플렉서블 디바이스의 구현 이 매우 어려워진다. 그러므로 IGZO 내 결함 농도를 최적 조건으로 효과적으로 제어하면서 동시에 공정 온 도가 낮은 저온 열처리 기술의 개발이 필수적으로 요 구된다.
본 연구에서는, 저온 열처리 방법으로 마이크로파 열 처리를 제안하고 이를 이용한 IGZO TFT의 전기적 특 성 변화에 대해 조사하였다. 마이크로파 열처리는 마이 크로파 조사 시 재료 내 격자의 진동을 통한 순간적인 열 전달을 이용해 기판에 전달되는 열에너지를 최소화 하는 방법으로 잘 알려져 있으며 저온 열처리 방법으로 적합하다.13-15) IGZO 반도체는 sputtering 공정을 통해 증 착하였으며 마이크로파 조사 시간을 10분에서 30분까지 변화시켜가며 진행하였다. 마이크로파 조사 시간이 증가 함에 따라 IGZO TFT의 전기적 특성과 신뢰성이 점차 향상되는 것을 확인하였으며 특히 마이크로파를 30분 조 사하여 제조한 IGZO TFT는 300 °C의 온도에서 열처리 를 진행한 IGZO TFT보다 우수한 특성을 보였다.
2. 실험 방법
IGZO 박막은 IGZO 타겟(In : Ga : Zn = 1 : 1 : 1 at%)을 이용, 고주파 Radio frequency (RF) sputtering 공정을 통해 증착하였다. 공정 중 RF power, Ar : O2 비는 각각 100 W, 30 : 0.1 (sccm) 비로 고정하였으며, 30 nm의 두 께로 증착되었다. IGZO 박막 증착 이후 마이크로파 열 처리는 조사 시간을 10분, 20분, 30분 세 조건으로 나 누어 진행하였다. 마이크로파 열처리와의 비교를 위한 고 온 후열처리의 경우 300 °C의 온도에서 한 시간 동안 진 행하였다. 모든 IGZO TFT는 100 nm 두께의 SiO2 절연 막을 가지는 p++ Si 기판 위에 제조하였으며 소오스 및 드레인 전극은 150 nm 두께의 Al을 thermal evaporation 을 통해 증착하였다. IGZO, Al 전극은 쉐도우 마스크 공정을 이용해 패터닝 하였으며 채널층의 넓이(W)와 길 이(L)는 각각 800 μm, 200 μm 이다. 본 연구에서 제조 한 IGZO TFT의 개략도를 Fig. 1에 표기하였다. 제조한 IGZO TFT의 전기적 특성은 HP 4156B semiconductor parameter analyzer를 이용, 외부 빛을 차단하고 상온에 서 측정하였다.
3. 결과 및 고찰
Fig. 2(a)는 유리 기판 위에 증착한 IGZO 박막의 후 처리에 따른 투과율 측정 결과이다. 투과율은 200 nm 에 서 1,000 nm의 범위에서 자외선 가시광선 분광광도계 (UV-vis Spectrometer) 를 사용하여 측정하였다. 측정 결 과, 모든 IGZO 박막은 pristine 포함, 후 처리에 관계없 이 550 nm의 파장대에서 80 % 이상의 높은 투과도를 보 였다. 특히, 마이크로파 조사 시간이 증가함에 따라 IGZO 박막의 투과율은 점차 증가하였으며 일반적인 300 °C의 고 온 열처리 진행 후에도 증가하는 것을 확인하였다. Fig. 2(b)의 inset은 Tauc 법을 통한 각 IGZO 박막의 광학 밴드 갭 추출 결과를 보여주며 다음과 같은 식으로부터 추출하였다.16,17)
Fig. 2
(a) Optical transmittance of IGZO thin films with pristine and different annealing condition (b) absorption spectra of IGZO films and (inset) extracted optical band gap values of IGZO with respect to annealing conditions.
여기서 α는 흡수 계수, h는 plank 상수, υ는 빛의 진동 수를 나타낸다. 마이크로파 조사 시간이 증가함에 따라 IGZO 박막의 광학 밴드 갭은 후 처리를 진행하지 않 은 pristine IGZO 박막 대비 점차 증가하였으며, 30 분 의 마이크로파 조사 시간에서는 고온 후열처리 대비 더 높은 광학 밴드갭을 가지는 것을 확인하였다. Fig. 2(b) 는 각 후처리에 따른 IGZO 박막의 흡수 계수 변화를 보여준다. 일반적으로 광학 밴드 갭은 재료 내 전도대 또는 가전자대 근처에 존재하는 tail-state와 같은 subgap state의 빛 흡수에 의해 실제 밴드 갭 보다 작게 측정되 며 이러한 subgap state의 변화를 흡수 계수 변화를 통 해 간접적으로 확인할 수 있다. 마이크로파 조사 시간 이 증가함에 따라 IGZO 박막의 흡수 계수는 광학 밴 드 갭 범위 내에서 점차 줄어들며, 이를 통해 IGZO 내 존재하는 subgap state가 줄어들었다고 볼 수 있다. 특 히, 30분 동안 마이크로파 열처리를 진행하였을 때 나 타나는 고온 열처리 대비 높은 광학 밴드 갭 및 밴드 갭 범위 내 흡수 계수의 변화는 장시간의 마이크로파 열 처리가 IGZO 반도체의 subgap state를 고온 열처리보다 더욱 효과적으로 감소시킨다는 것을 의미한다.
Fig. 3는 IGZO TFTs의 pristine 및 마이크로파 열처리, 고온 열처리에 따른 transfer curve를 보여준다. 마이크 로파 열처리는 조사 시간에 따라 각각 10 min, 20 min, 30 min으로 표기하였다. Transfer curve는 -30 V부터 30 V의 게이트 전압(VG) 범위에서 측정하였으며, 드레인 전 압(VD)은 10 V로 고정하였다. Table 1 및 Fig. 4에 pristine 을 포함한 IGZO TFT의 각 후 처리 조건에 따른 전계 효과 이동도(μsat), 문턱 전압(threshold Voltage, Vth), subthreshold Swing (S.S.), 그리고 히스테리시스(VH) 추 출값을 표기하였다. 후 처리를 진행하지 않은 pristine IGZO TFT의 경우, 양의 값으로 크게 치우친 Vth와 매 우 낮은 μsat 등 좋지 않은 스위칭 특성을 보인다. 고온 열처리 및 마이크로파 열처리를 진행하는 경우 그 전기 적 특성이 월등히 향상되는 것을 확인할 수 있었다. 특 히, 마이크로파 열처리의 경우 조사 시간이 10분에서 30 분으로 증가함에 따라 점차 전기적 특성이 향상되며, 30 분의 조사 시간에서 고온 열처리보다 우수한 전기적 특 성을 보여주었다. 30분 동안 마이크로파 열처리를 진행 한 IGZO TFT는 μsat, S.S., Vth, VH가 각각 6.45 cm2/Vs, 1.53 V, 0.17 V/dec, 그리고 0.47 V를 나타냈다. 이러한 IGZO TFT의 마이크로파 조사를 통한 전기적 특성 개 선은 Fig. 2에서 보이듯 IGZO 내 subgap state의 감소 와 반도체-절연막 간의 계면 trap site의 감소로 인한 것 으로 보인다. 마이크로 파 조사를 통해 전달된 에너지 는 IGZO 내부에서 열로 변환되고, 이를 통해 내부 결 함 농도를 제어한다. Vth의 감소와 μsat의 증가는 내부 결 함 농도가 최적 조건에 도달하였다는 것을 의미한다. 또 한, 개선된 VH를 통해 반도체-절연막 간의 계면 trap site 가 줄어들었음을 알 수 있다.
Table 1
Representative transfer parameters of IGZO TFTs.
| μsat (cm2/Vs) | S.S. (V/dec) | Vth (V) | VH (V) | |
|---|---|---|---|---|
| Pristine | 0.95 | 0.97 | 18.55 | 3.28 |
| 10 min | 2.23 | 0.28 | 6.8 | 0.97 |
| 20 min | 4.4 | 0.17 | 2.94 | 0.57 |
| 30 min | 6.45 | 0.17 | 1.53 | 0.47 |
| Thermal | 5.88 | 0.27 | 2.53 | 0.53 |
Fig. 5는 pristine, 마이크로파 열처리, 고온 열처리에 따른 IGZO TFT의 output curve이다. Output curve 측 정 시, VG는 0 V에서 20 V까지 5 V 간격으로 측정하였 으며, VD는 0 V에서 20 V 범위로 측정하였다. Pristine IGZO TFT의 경우, 게이트 전압의 변화에 따른 일반적 인 output 거동을 보이지 않으며, 이는 양의 방향으로 크 게 치우친 문턱 전압에 의한 것으로 보인다. 마이크로 파 열처리 및 고온 열처리를 진행한 IGZO TFT의 경우, 전형적인 output 특성을 보여주며, 우수한 ohmic 거동 및 current crowding 현상이 관측되지 않았다. 마이크로 파 조사 시간이 증가함에 따라 드레인 전류(ID) 값이 증가 하는 경향을 나타낸다. 또한 30분 동안 마이크로파 열 처리를 진행한 IGZO TFT의 드레인 전류 값은 고온 열 처리를 진행한 경우 보다 높은 ID 값을 보였다. 이는 Fig. 3에서 보인 transfer curve 경향과 같이, 마이크로파 열처리가 고온 열처리를 충분히 대체할 수 있다는 것을 보여준다.
Fig. 5
Output characteristics of IGZO TFTs with various annealing condition (a) pristine, (b) 10 min, (c) 20 min, (d) 30 min, (e) thermal.
마이크로파 열처리 및 고온 열처리를 통해 제작한 IGZO TFT의 신뢰성을 평가하기 위해서 negative bias stress (NBS)와 positive bias stress (PBS) 신뢰성을 측 정하였다. PBS 신뢰성 측정에서 VG는 20 V, VD는 0.1 V로 고정하였으며, NBS신뢰성 조건에서는 VG는 -20 V, VD는 0.1 V로 고정하였다. 측정 시간은 총 3,600초이 며, bias stress를 인가하며 600초 간격으로 문턱 전압 변화를 측정하기 위해 transfer curve를 확인하였다. Fig. 6에 IGZO TFT의 각 조건에 따른 NBS 및 PBS 신뢰성 측정 후 각 시간 당 문턱 전압 변화량(ΔVth)을 도시하 였으며, 신뢰성 테스트 후 각 조건에서의 최종 ΔVth 값 을 Table 2에 정리하였다. 일반적으로 NBS, PBS 신뢰 성 측정에 의한 ΔVth는 반도체 내부와 반도체-절연막 간 계면에서의 정공 trap (NBS), 전자 trap (PBS)에 의해 발생한다고 알려져 있다.18-20) pristine IGZO TFT 신뢰 성 테스트로 인한 ΔVth가 각각 17.8 V (PBS), -9.4 V (NBS)로 나타났다. 마이크로 파 열처리를 진행하는 경 우 조사 시간이 증가함에 따라 NBS, PBS 신뢰성은 점 차 향상되는 것을 확인하였다. 특히, 30분 동안 마이크 로파 열처리를 진행한 IGZO TFT의 신뢰성 테스트 결 과는 각각 2.02 V (PBS), -0.24 V (NBS)로 pristine에 비해 크게 향상되었으며, 고온 열처리를 진행한 경우보 다 우수한 특성을 보였다. 이러한 마이크로파 조사를 통 한 신뢰성 개선은 Fig. 2, 3에서 보이듯, 장시간의 마이 크로파 조사를 통해 IGZO 내부에 존재하는 결함을 조 절하고, 반도체-절연막 간의 계면 특성을 효과적으로 개 선하는 것에 기인한다고 할 수 있다.
Table 2
Threshold voltage shift values of IGZO TFTs during PBS and NBS test.
4.결 론
본 논문에서는, 기존의 고온 열처리를 대체하기 위한 방법으로 마이크로파를 이용한 저온 열처리 법을 제안 하고, 이를 이용한 IGZO TFT의 전기적 특성 변화에 대 해 조사하였다. IGZO 박막의 광학적 특성 평가 결과, 마 이크로파 조사 시간이 증가할수록 IGZO 내 tail state와 같은 subgap state가 줄어드는 것을 확인하였다. 특히, 이 러한 변화가 본 연구의 최적 조건인 30분의 마이크로파 열처리 시에는 기존의 고온 열처리보다 더 우수한 것으 로 나타났다. IGZO TFT의 경우, 30분의 마이크로파 열 처리 조건에서 6.45 cm2/Vs의 μsat, 0.17 V/dec의 S.S., 1.53 V의 Vth, 0.47의 VH와 같은 전기적 특성 보였으며, 이는 고온 열처리를 진행한 IGZO TFT 보다 더 우수한 값이다. 또한 NBS, PBS 와 같은 신뢰성 평가에서, 마 이크로파 조사 시간이 증가함에 따라 IGZO 내부 결함 및 반도체-절연막 간의 계면 제어를 통해 그 거동이 점 차 개선되는 것을 확인하였다. 결론적으로, 저온 공정 방 법 중 하나인 마이크로파 열처리는 기존의 고온 열처리 를 거의 완벽하게 대체할 수 있었으며, 이를 통해 유연 기판 위의 전자 소자 구현을 더 용이하게 할 수 있을 것으로 기대한다.
