1. 서 론
전 세계적으로 화석연료의 고갈과 환경오염 문제로 인 하여 친환경 및 신재생 에너지에 대한 관심이 높아지면 서 에너지 저장장치의 중요성 또한 대두되고 있다. 다 양한 에너지 저장장치 중 리튬이온 전지(Li-ion batteries, LIBs)는 높은 에너지 밀도, 긴 수명, 친환경적, 느린 자 가방전 속도 등 매력적인 장점 가지고 있어 스마트폰, 태블릿PC, 그리고 로봇과 같은 전자기기의 에너지 저장 장치로 널리 사용되고 있다.1-5) 그럼에도 불구하고, 전기 자동차와 대용량 에너지 저장장치와 같은 전자기기를 위 한 고성능 리튬이온 배터리에 대한 연구 및 개발이 여 전히 요구되어지고 있다.6-8) LIB의 고성능화를 위하여 현 재까지 많은 연구들이 이루어져왔고, 이중에서 용량과 수 명 향상은 가장 핵심적인 요소 중 하나이다. 이러한 용 량 및 수명 향상은 LIB의 주요 4 대 구성품 중(음극, 양극, 전해질, 분리막) 음극과 양극에 의해 주로 좌우되므 로 이에 대한 연구가 가장 큰 관심 중에 하나이다. 이 중, 음극은 낮은 가격 및 긴 수명 등의 장점을 지니는 탄소재료가 주로 이용되지만, 낮은 이론적 용량의 한계 (~372 mAh g−1)로 인하여 고 용량 특성을 지니는 금속산 화물(SnO2, Co3O4, Fe2O3등)로 대체하는 연구가 활발히 진행 중이다. 9-11) 층간 탈/삽입 반응을 통해 리튬 이온 을 저장하는 탄소재료에 비하여 주석과 리튬의 합금화 반응을 통해 리튬 이온을 저장할 수 있는 주석산화물(tin oxide, SnO2)은 높은 이론적 용량(790 mAh g−1) 및 비교 적 저렴한 가격이기 때문에 다른 금속산화물에 비하여 많은 주목을 받고있다.12-14) 하지만, SnO2가 지니는 낮은 전기 전도도 때문에 낮은 전기화학적 가역성을 지니게 되고 이는 LIB의 용량과 수명특성을 저하시키는 원인이 된다. 이를 해결하기 위하여 SnO2와 전기 전도도가 우 수한 탄소와의 복합체 연구가 진행되어왔지만, 보다 근 본적인 해결책으로는 부족한 실정이다.1-6) 더욱이 SnO2 의 전기 전도도는 염소(Cl), 몰리(Mo), 안티몬(Sb), 불소 (F)등의 도핑을 통하여 향상시킬 수 있다.15,16) 향상된 전 기 전도도는 빠른 Li이온과의 반응을 진행할 수 있으며 이는 전기화학적 가역성을 향상시킴으로 LIB의 용량과 수명특성을 향상시킬 수 있게 된다.15,16) 다양한 도핑물 질 중에서, F는 높은 전기적 전도도(~5 × 103Ω−1cm−1)를 확보할 수 있는 가장 효율적인 도핑물질이며, 주로 스 퍼터링법, 기상증착법 등의 방법으로 합성되어 왔다.15-18)
하지만 위에서 언급한 합성방법은 공정이 복잡하고, 높 은 공정비용이 요구되며, 대량생산을 하기에 부적합하 다. 그에 반해 초음파 분무 열 분해법(ultrasonic spray pyrolysis)은 비 진공분위기 하의 용액 기반 합성법으로, 나노입자 제조, 간단한 구성요소/공정, 저비용 및 대량생 산에 적합함에 따른 우수한 산업화 접근성을 토대로 위 에서 언급한 문제점들의 극복이 가능하기 때문에 이는 불소 도핑된 주석산화물(fluorine-doped tin oxide, FTO) 의 합성에 있어 매우 효과적일 것으로 판단된다.16,17) 따 라서 본 연구에서는 초음파 분무 열 분해법을 통해 FTO 을 성공적으로 합성하였으며, 이들을 물리적, 화학적, 전 기화학적 분석을 이용하여 규명하였다.
2. 실험 방법
본 연구에서는 Fig. 1에서 보여지는 것과 같이 초음파 분무 열 분해법(Nano SPD, TV500-02, Solar Ceramic) 와 열처리를 이용하여 FTO 나노입자를 성공적으로 제 조하였다. 먼저 초음파 분무 열 분해법에 사용할 전 구체 용액을 만들기 위해 tin(IV) chloride pentahydrate (SnCl45H2O, Daejung)와 ammonium fluoride(NH4F, Adrich)를 ethyl alcohol(C2H5OH, Duksan)과 증류수가 혼합된 용액에 3시간 동안 용해하여 용액을 준비하였 다. 이때 용액의 F와 Sn 전구체의 몰비율(mole ratio)은 1.765로 고정 시켰다. 제조된 용액은 초음파 분무 통에 옮겨 준비하였다. 이때 반응구역의 온도를 400 °C로 유 지하고 수송 가스는 공기를 사용하며, 수송 가스의 주 입속도 및 압력은 15 L/min 및 10 Hz 로 고정 시켰다. 초음파 분무 통에 있는 용액을 초음파를 이용하여 분무 시켜 액적 상태를 이루고, 이는 수송가스와 함께 반응 구간을 지나며 나노입자의 형태로 합성되어진다. 이어서 제조된 나노입자를 공기 분위기하에 600 °C에서 30분 동 안 열처리를 하여 하이드록시기를 제거함으로써 FTO 나 노입자를 얻었다.
제조된 FTO 나노입자의 구조 및 형태분석은 주사 전 자 현미경(field-emission scanning electron microcopy, FE-SEM, Hitachi S-48000)과 투과 전자 현미경(transmission electron microscopy, MULTI/TEM; Tecnai G2, KBSI Gwangju Center)을 통하여 수행하였다. 게다가 결 정구조는 X-선 회절분석(X-ray diffraction, XRD, Rigaku Rint 2500)을 통하여 2θ = 10~90° 회절범위 내에서 1°/ min의 속도로 측정하였다. 또한, 화학결합 상태를 조사 하기 위하여 Al Kα X-ray source를 장착한 X-선 광전자 분광법(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS, ESCALAB 250)을 수행하였다. XPS수행시의 압력은 2 × 10−9 torr에서 수행하였다.
제조된 FTO 나노입자의 전기화학적 거동 및 LIB 성 능특성을 분석하기 위하여 코인셀(CR 2032, Hohsen Corporation)을 제작하였다. 전극 슬러리는 70 wt%의 FTO 나노입자, 20 wt%의 바인더(polyvinylidene difluoride, PVDF), 10 wt% 도전재(acetylene black)를 용매(1-methyl- 2-pyrrolidinone, NMP) 안에서 고르게 혼합시켰다. 혼합 된 슬러리는 집전체로 이용하는 구리 호일(Nippon Foil, 18 μm) 위에 20 μm의 두께로 캐스팅 후 12시간동안 100 °C에서 건조하였다. 압착기를 이용하여 전극을 얇게 압연을 한 후 1.32 cm2 면적으로 천공하였다. 이렇게 얻 어진 전극은 Li 호일(Honjo Chemical, 99.8 %)을 상대전 극으로 사용하여 평가하였으며, 모든 코인셀은 아르곤 가 스로 이루어진 글러브 박스에서 조립하였다. 전극과 Li 호일은 분리막(Celgard 2400)을 이용하여 구분하였고, 전 해질은 ethylene carbonate와 diethylcarbonate가 1:1로 혼합된 용매 안에 1.0 M LiPF6(Techno Semichim)을 용 해하여 사용하였다. 이렇게 조립된 코인셀은 25 °C를 유 지하는 항온기에서 24시간 동안 안정화를 거친 후 측정 되었다. LIB 성능평가는 싸이클러(Won-A Tech, WMPG 3000)를 이용하여 진행되었으며, 전압범위는 0.0-3.0 V로 고정하였다. LIB의 수명성능을 분석하기 위해서 100 mA g−1의 전류밀도로 100 cycles 동안 진행하였으며, 고속 충 전/방전 성능을 분석하기 위해서 100, 300, 500, 700, 100 mA g−1의 전류밀도로 각 10 cycles씩 진행하였다. 게다가, 제작된 코인셀의 임피던스(electrochemical impedance spectra, EIS)는 전기화학 계측 장비(potentiostat/ galvanostat, Ecochemie Autolab PGST302N)를 이용하 여, 0.5 Hz에서 100 kHz사이의 주파수 범위 내에서 교류 주파수의 진폭을 10 mV로 고정한 후 측정하였다. 또 한, 제작된 FTO 나노입자의 LIB 성능특성을 비교평가 하기 위하여 SnO2 나노입자(ALDRICH, 244651)를 구입 하여 동일한 조건하에 평가하였다.
3. 결과 및 고찰
Fig. 2은 (a) SnO2 (b) F-doped SnO2 (FTO)의 FESEM 이미지와 입도크기 분포를 나타낸다. 입도크기 분 포는 Lince program이용하여 측정하였다.19) Fig. 2(a)와 (c)에서 보여지는 것처럼 상용화된 SnO2는 구형 형태의 입자들로 이루어져있다. 하지만, 0.3-1.3 μm 크기의 불균 일한 입도크기를 지니고 있다. 이러한 특징은 LIB를 제 작하였을 때 각 셀들의 불균일한 성능을 나타낼 수 있 는 단점으로 적용된다. Fig. 2(b)와 (d)를 통하여 보여진 것처럼, 제조된 FTO 입자들은 6~10 nm를 갖는 구형 형 태의 입자들로 이루어졌다. 또한, 균일한 입도크기를 지 니는 것을 확인했다. FTO입도크기의 표준편차는 3.2로 SnO2의 3.9보다 더 낮아 균일한 입도크기를 보유함을 확 인하였다. 균일한 나노크기의 입자가 형성됨은 초음파 분 무 열 분해법의 특징이자 장점으로 볼 수 있다. Fig. 1 에서 보여지는 것과 같이 분무통에 있는 전구체 용액들 은 초음파에 의하여 액적 형태로 분무되게 된다. 이때 수송가스와 함께 열처리 구간을 지나게 되면서 용매는 증발을 하게 되고, 남아있는 전구체들은 입자로 형성되 게 된다. 분무되는 액적의 크기는 제조되는 입자의 크 기 결정에 많은 기여를 한다.16,17) 따라서, 초음파 분무 열 분해법은, 나노입자를 제조하기에 적합한 합성법이며 더 불어 포함되는 전구체의 종류 및 양을 손쉽게 제어 할 수 있음으로 추가 원소를 도핑 하기에 유리한 합성법으 로 여겨진다. 이렇게 초음파 분무 열 분해법으로 제조 된 균일한 나노크기의 FTO 입자는 리튬이온 배터리 전 극으로 사용할 때 아래와 같은 영향을 기대할 수 있다. 첫 번째로, 나노크기 전극으로 전해질과의 반응면적이 증 가하여 향상된 LIB의 용량 향상을 기대할 수 있다. 두 번째로, 균일한 크기를 지니는 입자임으로 셀 제작시 균 일한 성능 특성을 기대할 수 있다. 마지막으로, F이온이 도핑 됨으로써 전기 전도도가 향상되고, 이는 전기화학 적 가역성을 향상시킴으로 LIB의 용량과 수명특성을 향 상을 기대할 수 있다.15,18)

Fig. 2
FE-SEM images obtained from (a) SnO2 and (b) F-doped SnO2 (FTO). Particle-size distribution from (c) SnO2 and (d) F-doped SnO2 (FTO).
Fig. 3은 (a) SnO2 (b) F-doped SnO2 (FTO)의 TEM 이미지들을 나타낸다. Fig. 3(a)에서 보여지는 것처럼 상 용화된 SnO2는 입자들이 각자 독립되어있지 않고, 서로 연결되어있는 형태이다. 이러한 형태는 전해질과의 반응 면적을 감소시킴으로 LIB 성능 감소에 원인이 된다. Fig. 3(b)을 통하여 보여진 것처럼, 제조된 FTO 입자들은 구 형 형태의 입자들로 서로 간격을 두고 존재하며 6-10 nm 의 균일한 입도크기를 지닌다. 이러한 구조는 전해질의 접촉면적을 늘려 LIB의 용량을 향상시킬 수 있고, 더하 여 Li 이온의 빠른 확산을 가능하게 하여 고속 충전/방 전 성능을 향상시킬 수 있다. FTO 나노입자가 형성되 는 보다 자세한 메커니즘은 아래와 같다. 분무통에 존 재하는 전구체 용액들이 초음파에 의하여 액적을 형성 하게 되고, 이러한 액적들이 열처리 구간에서 열분해 반 응이 진행된다. 이때 액적의 표면에서부터 FTO의 고상 화로 석출이 진행 되며, 따라서 내부에 존재하는 액적 은 표면으로 확산하지 못하게 된다. 따라서 내부의 용 매만 증발하게 되며, 이때의 압력 증가폭이 적기 때문 에 변형이 적어 제조된 입자끼리 뭉치지 않게 되어 균 일한 FTO 나노입자를 얻을 수 있다.16,17)
Fig. 4는 SnO2 와 F-doped SnO2 (FTO)의 XRD 분석 결과를 보여준다. SnO2의 경우 26.6°, 33.9°, 37.9°, 51.8°, 54.8°의 2θ 값에서 SnO2 상에 대응하는 (110), (101), (200), (211) 및 (220)면의 XRD 회절 패턴이 관찰되고, 이는 tetragonal 구조(space group P42/mnm[136]) (JCPDS card No. 88-0287)를 나타낸다. FTO의 경우에는 ~0.1° low angle shift 된 26.5°, 33.6°, 51.7° 의 2θ을 나타내 며, (110), (101) 및 (211)에 대응된다. FTO의 경우 2θ 값이 low angle shift된 이유는, 산소이온의 위치에 F이 온이 치환되어 Sn 이온과 F이온 사이의 거리가 증가하 였기 때문이다. 또한, FTO의 경우 SnO2 보다 반치폭 (full width at half maximum, FWHM)이 증가하고, 회 절 패턴의 강도가 감소함이 관찰된다. 이러한 결과는, FTO입자가 나노크기로 합성되었음을 의미한다. 여기서, 분석된 XRD 결과와 scherrer공식을 이용하여 FTO 의 평균 입자 크기를 계산할 수 있다.
위 식에서 D는 평균 입자 크기(Å), λ는 X-선의 파장 (Å), β는 반치폭의 넓이, 그리고 θ는 Bragg angle이다. 이를 이용하여 계산한 결과 FTO의 입자 크기는 평균적 으로 약 6.9 nm임을 알 수 있다. 이러한 XRD 분석은 TEM 분석과 일치함을 확인하였다. SnO2의 경우 scherrer 공식을 이용하기에 큰 입자 크기(50 nm 이상)를 지니고 있음으로 수행하지 못했다.
Fig. 5은 (a) SnO2 와 (b) F-doped SnO2 (FTO)의 화 학적 결합상태를 규명하기 위하여 Sn 3d 의 XPS 스펙 트럼을 관찰한 것이다. XPS 결과에서 나타나는 모든 XPS 스펙트럼 피크들은 C 1s의 284.5 eV를 기준으로 보 정하였다. Fig. 5은 (a) SnO2 와 (b) FTO의 Sn 3d5/2와 Sn 3d3/2의 XPS 피크들은 ~486.3 eV와 ~494.8 eV에서 각각 관찰되며 이는 SnO2 상의 Sn-O 결합상태를 의미 한다.16,17) 게다가, Fig. 5(b)에서 보여지는 것과 같이 FTO 의 경우 ~487.0 eV 및 ~495.8 eV에서 추가적으로 확인 되는 XPS피크들이 나타나며 이는 Sn-F의 결합상태를 의 미한다.16,17) 이러한 결과는 F이온이 SnO2 격자에 도핑 된 효과로 초음파 분무 열 분해법을 통한 성공적인 FTO 의 합성을 확실히 보여준다.
준비된 샘플의 전기화학적 특성 및 LIB 성능을 분석 하기 위해서 Fig. 6와 같이 (a) SnO2 와 (b) FTO의 충· 방전 실험을 실시하였다. 실험 조건은 100 mA g−1 의 전 류밀도 아래에서 0.0 V - 3.0 V의 전압 범위에서 수행하 였다. 일반적으로 SnO2와 Li의 전기화학적 반응 메카니 즘은 다음 공식과 같다:

Fig. 6
Charge-discharge curves of (a) SnO2, (b) F-doped SnO2 (FTO) at a current density of 100 mA g−1 in the voltage range 0.0-3.0 V (versus Li/Li+) for 1st, 2nd, 3th, 10th and 50th cycles.
Fig. 6(a)에서 보여지는 것처럼, SnO2의 첫 번째 싸이 클의 방전 곡선에서 관찰되는 0.8 V의 평탄 전위구간은 SnO2와 Li이 반응하여 Sn이 석출되는 반응과 SnO2 내 의 산소와 Li이 만나 리튬 산화물(Li2O)이 형성되는 비 가역적인 반응에 기인하며, 0.4 V의 평탄 전위구간은 석 출된 Sn과 Li이 반응하여 Sn-Li 합금을 형성하는 반응 에 기인한다. 그에 반하여 Fig. 6(b)에서 보여지는 것처 럼, F-doped SnO2 (FTO)의 경우는 SnO2보다 평탄 전위 구간이 적게 나타남을 보이며, 이러한 이유는 F이온 도 핑에 따른 전기 전도도 향상 덕분에 빠른 전기화학적 반응이 일어났기 때문이다. 또한, 첫 번째 싸이클에서 SnO2와 FTO의 방전용량은 1386 and 1759 mAh g−1, 충 전용량은 758 and 1266 mAh g−1로 각각 얻어졌으며, 이 에 따른 쿨롱 효율은 54 and 71 %이다. FTO의 쿨롱 효율이 SnO2보다 향상된 이유는, F이온 도핑에 따른 향 상된 전기 전도도가 전기화학적 가역성을 개선하기 때 문이다.15,18,20) 이때, SnO2와 FTO 모두 첫 번째 싸이클 에서 이론용량(790 mAh g−1)보다 높은 방전 용량을 나타 낸다. 이러한 이유는 첫 번째 싸이클에서 방전 중, Sn과 Li2O의 계면에 형성되는 고체 전해질 계면(solid electrolyte interface, SEI) 때문이다.6,7) 이러한 SEI layer는 전하를 저장하는 능력을 가지며, 낮은 전압 아래에서(~0.7 V) 전 해질의 분해에 의해 형성된다.6,7) 하지만, 방전 후 전극 물질의 표면에 생성된 SEI layer는, Li이온의 삽입/탈리, 전자의 이동을 저해시킨다.6-8) 이러한 특징 때문에, 첫 번 째 싸이클에서 높은 방전 용량에도 불구하고, 낮은 충 전 용량을 나타내는 원인이 되어 낮은 비가역성을 나타 나게 한다. 그럼에도 불구하고, FTO의 경우 SnO2보다 우 수한 가역성을 나타내는데, 이는 F이온 도핑에 따른 전 기 전도도 향상이 전기화학반응에 중요한 역할을 지님을 의미한다.
Fig. 7(a)는 100 mA g−1의 전류밀도에서 SnO2와 Fdoped SnO2 (FTO)의 50 사이클 동안 충·방전 용량을 나타낸 그래프이다. SnO2와 FTO 모두 5 싸이클이 지난 후 99.9 %의 쿨롱 효율을 나타냈으며, 이는 두 샘플이 모두 가역적인 반응을 지니는 것을 의미한다. SnO2의 경 우 급격한 방전 용량 저하를 나타내며, 50 싸이클에서는 69 mAh g−1의 매우 적은 방전 용량을 나타낸다. FTO의 경우 50 싸이클에서 620 mAh g−1의 우수한 방전용량을 나타낸다. 이러한 전기화학적 성능향상은 두 가지 영향 으로 설명할 수 있다. 첫 번째는, 초음파 분무 열 분해 법을 이용하여 나노크기를 갖는 FTO를 합성하였기 때 문이다. 나노크기의 재료로 LIB의 전극을 제작할 경우 Li 이온과의 전기화학적 반응 면적이 넓어짐으로 용량이 향상된다. 두 번째는, F이온 도핑에 따른 전기 전도도 향 상 때문에 전기화학적 반응을 보다 빠르고, 효율적으로 이끌 수 있어 가역성을 증가시키고 이에 따라 용량 유 지성이 향상된다. Fig. 7(b)는 100, 300, 500, 700 mA g−1의 전류밀도에서 각각 10 싸이클 동안 SnO2 와 FTO 의 고속 충·방전 용량을 측정한 그래프이다. SnO2 의 경우 전류밀도가 100 mA g−1에서 300 mA g−1으로 증가 할 때 방전용량 값이 807 mAh g−1에서 400 mAh g−1으로 크게 감소하였고, 이어지는 전류밀도의 증가에서도 낮은 방전용량 값을 나타내었다. 이러한 이유는 SnO2 의 낮 은 전기 전도도가 느린 전기화학 반응 및 전자 수송을 이끌기 때문이다. 그에 반하여, FTO의 경우 전류밀도가 100 mA g−1에서 300 mA g−1으로 증가할 때 방전용량 값 이 1090 mAh g−1에서 910 mAh g−1으로 아주 적은 용량 감소를 나타냈다. 또한 700 mA g−1의 고속 전류밀도에서 도 250 mAh g−1 의 준수한 방전용량을 나타내었다. 이렇 게 우수한 고속 충·방전 성능은, F이온 도핑에 따라 개 선된 전기전도도가 빠른 전기화학 반응 및 전자 수송을 이끌기 때문이다. Fig. 7(c)는 SnO2 와 FTO의 전기화학 적 내부저항을 분석한 나이퀴스트 선도이며, 100 kHz ~ 0.5 Hz의 주파수 범위에서 5 mV 교류 진폭을 가지고 측 정되었다. 이 선도는 전하이동 저항(charge transfer resistance) 과 와버그 저항(Warburg impedance)이 존재하는 데, 이는 각각 및 전극/전해질 사이의 계면의 전하이동 및 전극 내에서 Li 이온의 확산에 영향을 받는다.7,8) FTO의 경우 SnO2보다 작은 반원 구간을 지니고 이는 낮은 전하이동 저항을 나타낸다. 또한, 직선구간에서 기 울기가 SnO2보다 y축으로 가까워지는데, 이는 낮은 와 버그 저항을 나타낸다. 즉, FTO는 SnO2보다 낮은 전하 이동 저항 및 낮은 와버그 저항을 나타냈으며, 이는 F 이온 도핑으로 이하여 향상된 전기 전도도가 전하이동 특성을 개선하였으며, 나노크기로 제조된 FTO가 Li이온 의 확산에 유리함을 의미한다.

Fig. 7
(a) Cycling stability of the charge-discharge capacities of SnO2 and F-doped SnO2 (FTO) up to 50 cycles. (b) The high-rate performance at current densities of 100, 300, 500, 700 mA g−1. (c) Nyquist plots in the frequency range of 105 to 10−2 Hz before the chargedischarge tests.
종합해서 말하자면, 제조된 FTO가 상용화된 SnO2보다 전기화학 특성이 증가한 이유는 두 가지 중요한 영향으 로 설명할 수 다. 첫 번째로, 초음파 분무 열 분해법을 이용하여 제조된 나노크기의 FTO는 Li이온과의 증가된 전기화학적 반응면적을 제공하고, 이는 향상된 용량 성 능 및 낮은 와버그 저항을 나타낸다. 두 번째로, F이온 도핑으로 인하여 증가된 전기 전도도는 빠른 전기화학 적 반응을 제공하고, 이에 따라 향상된 용량, 수명 및 전하이동 특성을 나타낸다. 따라서, 초음파 분무 열 분 해법으로 제조된 FTO입자의 경우 나노크기, F이온 도핑 의 도입으로 인하여 향상된 전기화학적 성능을 얻을 수 있었다.
4. 결 론
본 연구에서는 LIB를 위한 FTO를 성공적으로 제조하 였으며 이를 위해 초음파 분무 열 분해법을 사용하였 다. FTO의 전기화학적 특성 규명을 위하여 상용화되어 판매되고 있는 SnO2와 함께 비교 평가하였다. 제조된 FTO의 경우 구 형상을 지니면서 6-10 nm의 균일한 입 도크기 나타냈다. 이를 전기화학평가 결과, 50 싸이클에 서 620 mAh g−1의 우수한 방전 용량특성을 나타냈으며 향상된 고속 충·방전 성능(700 mA g−1의 고속 전류밀 도에서도 250 mAh g−1의 방전용량) 또한 보였다. 이렇게 전기화학적 성능이 향상된 이유는 나노크기로 제조된 FTO가 증가된 전기화학적 반응면적을 확보하였고 이에 따라 증가된 용량 특성을 보였다. 또한, F이온 도핑에 의 한 증가된 전기 전도도는 빠른 전기화학적 반응을 제공 하여 용량 및 고속 충·방전 성능을 향상시켰다. 따라 서, 초음파 분무 열 분해법을 이용하여 제조한 나노크 기의 FTO입자는 고성능 LIB를 위한 잠재적인 전극이 될 것으로 판단된다.






